Датчики давления используются для мониторинга абсолютного давления в полупроводниковых вакуумных процессах.

В вакуумном мониторинге избыточного давления при производстве полупроводников датчики давления (вакуумметры) уже давно перестали быть простыми датчиками давления — теперь они являются «глазами» и «стражами» точного технологического контроля.

Категория: Полупроводники

8001@huadianauto.com

сообщение

скачать

Описание деталей

Полупроводниковая вакуумная среда предъявляет чрезвычайно жесткие требования к датчикам давления:

1. Широкий диапазон измерений: вакуум в полупроводниковых процессах охватывает чрезвычайно широкий диапазон — от нескольких тортов до 10⁻¹¹ торр и даже ниже. Один передатчик не способен охватить весь диапазон, поэтому обычно приходится использовать разные типы вакуумметров по участкам.

2. Чрезвычайно высокая точность и стабильность: на ключевых технологических этапах даже незначительные погрешности давления могут привести к дрейфу процесса. Поэтому необходимо, чтобы датчики имели крайне низкий дрейф точки отсчёта и диапазона измерений;

3. Превосходная повторяемость: стабильность процесса требует, чтобы передатчик каждый раз выдавал одинаковый сигнал при одном и том же реальном давлении;

4. Быстрое время отклика: способен оперативно реагировать на быстрые изменения давления, чтобы удовлетворять требованиям управления технологическим процессом в режиме реального времени и контроля конечной точки;

5. Строгая совместимость материалов: все компоненты, контактирующие с технологической средой (мембраны, уплотнения), должны изготавливаться из материалов сверхвысокой чистоты с низким уровнем выделения газов (например, нержавеющая сталь 316L VIM/VAR, коррозионностойкий никелевый сплав Элгилоя, золотые уплотнения и т.д.), чтобы предотвратить загрязнение сверхчистой технологической среды;

6. Коррозионная стойкость: во многих процессах используются коррозионные газы (такие как Cl₂, HBr, NF₃), и датчики должны быть устойчивыми к воздействию этих газов;

7. Низкий уровень газовыделения и устойчивость к прокаливанию: для достижения очень высокого вакуума вакуумная камера должна нагреваться до высокой температуры (например, выше 150°C) с целью удаления адсорбированных на внутренних стенках водяных паров и газов. Датчики давления должны выдерживать такую высокую температуру, а также обладать крайне низким уровнем газовыделения самого материала.

关键词： Датчики давления используются для мониторинга абсолютного давления в полупроводниковых вакуумных процессах.

Предыдущая страница

Нет

Следующая страница

Рекомендуемые продукты