Мониторинг давления высокочистых газов

Высокочистые газы требуют контроля давления на всех этапах — от хранения, транспортировки и распределения до очистки отработанных газов. Давление передатчиков, полностью разработанных и произведённых компанией Мак, является мощным инструментом для точного измерения давления высокочистых газов. Для пользователей, которым необходимо обеспечить безопасность, стабильность, отсутствие загрязнений и соответствие технологическим требованиям системы подачи газа, это идеальный выбор.

Проблемы применения:
1. Высокий уровень утечки газа;
2. Высокие требования к долгосрочной стабильности и надёжности;
3. Разнообразные коррозионно-активные газовые среды;
4. Высокие требования к чистоте;
5. Ограниченное пространство для установки некоторых устройств;

Преимущества решения:
1. Высокая герметичность продукта, уровень утечки гелия: ≤5×10⁻¹² Па·м³/с;
2. Высокая чистота, место производства: чистая комната класса 100;
3. Обработка поверхности: электро-полировка, соответствует стандарту SEMI F19; шероховатость поверхности: типичное значение ≤0,13 мкм, максимальное ≤0,18 мкм;
4. Хорошая коррозионная стойкость, контактный материал — нержавеющая сталь 316L VAR+VIM, соответствует SEMI F20;
5. Хорошая долгосрочная стабильность, ±0,25% FS/год, высокий уровень защиты от электромагнитных помех, регулируемый нулевой уровень;
6. Конструктивные особенности: компактный и небольшой размер, подходит для ограниченного пространства.

关键词： Мониторинг давления высокочистых газов

Предыдущая страница

Нет

Следующая страница

Рекомендуемые продукты